진공증착기

20789759

진공증착기,코리아바큠테크,RF sputtering system,메탈스퍼터

글로벌융합산업공학과MSDE전공

무궁관 902호 에너지나노공학연구실

2018-01-26

Vacuum evaporators

Vacuum evaporators, 진공증착기

3targets, DC & RF sputtering,Target 수: 3개Target shutter: 장착Target과 Substrate사이의 거리: 약 6cm (거리조정가능)Substrate heating 장치: 장착Pump: Cryo pumpPower: 1kW 외제, 각 타겟마다 따로 장착 (RF와 DC 각각에 대해서 따로따로)Cable: High Power용Control: automatic controlAutomatic impedance matching 가능Load lock chamber 장착

용도 진공증착, 진공펌프규격 Rotarypump,200L/min

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